Applikationsintroduktion
Automatiserad materiallagring och hantering vid halvledarproduktion
Gäller för :
1. Lagring med hög densitet, högt utrymmesutnyttjande, fullt utnyttjande av höjdutrymme
2. Snabb takt
3. Integrerad i materialhanteringssystemet för verkstadsgolvet
4.Snabb implementering, automatisk nivåundervisningstest
5.Kompatibel med ARV/OHT/OHS/manuella och andra automatiska processer
6. Uppfyller Cleanroom ISO14644-14, SEMI S2 Standard och ESD standarder
funktion introduktion
*Den används för halvledarlagring online, support FOUP, CASSETTE, Magazine, Tray och andra
*Kan docka med ARV, stödja manuell lastning och lossning
* Uppfyller Cleanroom ISO14644-14, SEMI S2 Standard och ESD standarder
*Standard SEMI mjukvarugränssnitt
*Modulär design
Block 4. No.358 Jinhu Road, Pudong District, Shanghai, Kina