Högdensitetslagring, Högt utrymmesutnyttjande, Fullt utnyttjande av höjdutrymme

Automatiserad undervisningstestning på materialnivå

Snabbt genomförande

Högt utrymmesutnyttjande

Halvledarfabriksteknik


Applikationsintroduktion
Automatiserad materiallagring och hantering vid halvledarproduktion
Gäller för:
1. Högdensitetslagring, högt utrymmesutnyttjande, fullt utnyttjande av höjdutrymmet
2. Snabb takt
3. Integrerad i materialhanteringssystemet i verkstaden
4. Snabb implementering, automatisk nivåinlärningstest
5. Kompatibel med ARV/OHT/OHS/manuella och andra automatiska processer
6. Uppfyller kraven för renrum ISO14644-14, SEMI S2-standard och ESD-standarder

funktion introduktion
* Den används för online-lagring av halvledare, stöder FOUP, kassett, magasin, fack och andra
* Kan docka med ARV, stödja manuell lastning och lossning
*Uppfyller renrumsstandarderna ISO14644-14, SEMI S2-standarden och ESD-standarder
*Standard SEMI-programvarugränssnitt
*Modulär design




Block 4. No.358 Jinhu Road, Pudong District, Shanghai, Kina